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光柵尺位移傳感器的原理

光柵尺位移傳感器的原理
光柵尺位移傳感器是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺位移傳感器經(jīng)常應用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。比如在數(shù)控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償?shù)毒叩倪\動誤差的作用。
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